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半導體擴散製程
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http://www.tri.org.tw/per/doc/t07/065.pdf
薄膜成形技術新紀元 - 台灣綜合研究院
誕生的電晶體半導體產業,尤其現有. 大型積體電路(IC)的薄膜積層製程,. 沒有此項技術在背後支援恐怕也無法. 實現。此外,1970年成功開發出室溫.
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