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擴散製程 - 政府研究資訊系統GRB

關鍵字：半導體摻雜擴散製程; 濃度均勻性; 擴散應力; 逆向模式 ... 關鍵字：擴散製程；爐管機台；排程；啟發式演算法；動態規劃；多目標基因演算法.

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