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半導體製程技術

磊晶矽薄膜的純度高、缺陷少、性質佳，但其製程溫度最高、難度最高，因此在元件應用上. 有其限制，一般用在積體電路製程最前段。複晶矽薄膜則在積體電路中應用極廣，這要 ...

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