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半導體摻雜方式
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半导体行业(九十二)——离子注入(十二)_多晶硅
多晶硅需要离子重掺杂以降低电阻系数,这可以通过在沉积过程中使用临场掺杂方式将硅的反应气体和掺杂物气体一同引入CVD反应器中,或者利用高电流 ...
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「半導體摻雜方式」
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