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半導體摻雜方式
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超薄層矽金氧半場效電晶體在不同輕摻雜汲極與袋型離子佈值
汲極(LDD) 和袋形植入(Pocket) 高低摻雜的濃度在短通道效應下造成的影響。所探討到的技 ... (Pocket Implantation)的製程技術等等來改良半導體元件。
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摻雜活化
P 型 與 n 型 半導體 摻 雜 後 的電 性 是否 改變
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