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稀土類ALD前驅物之半導體應用 - 材料世界網

稀土金屬具有獨特的電性與磁性，使其在半導體業、製造業、化工業皆具有不可替代性。稀土化合物可應用在小至手機、電動車，大到甚至飛彈導航系統中， ...

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