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半導體物理與元件 - 光電工程系

由於缺. 乏材料蝕刻選擇性，而且高速離子的轟擊會使得蝕刻處的晶格受到損傷，. 因此在許多蝕刻應用上很少被使用。 (b)化學反應蝕刻. 化學反應蝕刻則是利用電漿中的反應氣體 ...

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