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奇妙的電漿與電漿的應用 - 國家實驗研究院

電漿為一種帶有等量的正電荷與負電荷的離子化氣體，它是由離子、電子與中性的原子或 ... 隨著科技日益進步電漿也廣泛的應用在半導體製造中，像在薄膜沉積製程中的濺 ...

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