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半導體產業供應鏈轉型綠色製造之專利技術參考手冊

專案小組與半導體供應商(乙)亦採線上視訊訪談，其提出. 多種製程廢棄物回收或循環再利用之議題，包含高濃度廢棄酸. 液純化再利用（HF 等）、研磨矽污泥回收或循環再利用（ ...

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