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半導體廢棄物
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半導體製造業空氣污染管制及排放標準 - 全國法規資料庫
一、空氣污染物輸入量(以溶劑或其他型式輸入製程之量)、輸出量(隨廢溶劑、廢棄物、廢水或其他型式輸出製程之量)、污染防制設備削減量等資料應每月記錄。
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