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半導體＆ ETCH 知識，你能答對幾個？ - 吳俊逸的數位歷程檔

T/C (傳送Transfer Chamber) 之功能為何? 答：提供一個真空環境, 以利機器手臂在反應腔與晶舟間傳送Wafer,節省時間. 機台 ...

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