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晶圆处理工程用语- 浙江海纳半导体有限公司

系指有关形成薄膜之半导体制造装置，在各种处理或晶圆输送时，用来保持晶圆之装置 ... 系指在质量分析系统中，为时离子波束中通过,所设置的真空腔(vacuum chamber)。

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