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110年機械製造學(含概要、大意) - 第 328 頁 - Google 圖書結果

(五)導體製程中,一般所謂的 16 奈米製程係指線寬為 0.016μm。(六)最直接影響線寬的製程稱為「微影」(lithography)技術。(七)半導體的製造過程均需在無塵的環境下自動化 ...

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