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光阻厚度與線寬- 新手上路 - 痞酷網

5nm 您是台積電的員工嗎 我記得這要用EUV的曝光機才能做了吧 最小線寬取決於 曝光光源波長波長越短可以取得更小線寬厚度我不知道 我不是半導體從業 ...

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