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奈米線 - 國內學術電子期刊系統

藉由vapor-liquid-solid（VLS）成長機制成長矽奈米線的示意圖。 ... 薄薄的半導體材料（如矽晶圓）上，體積小 ... 當超出微影技術能達到的最小線寬極限時，.

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