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奈米尺度細線路圖案化技術介紹(上) - 材料世界網

奈米 壓印(NIL)是一可快速且價格合理達到製作100 nm 以下線寬圖形的方法 ... 但是，半導體製程技術已面臨微縮極限，若要超越22nm 的技術，現階段的材料 ...

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