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科技部(財團法人國家同步輻射研究中心) 「突破半導體物理極限 ...

建立3 奈米或以下的半導體製程元件結構檢測及相關 ... 微影技術發展已逐漸接近其物理極限，當半導體產業. 製程進入7nm 以下，製程將仰賴EUV 微影技術，伴隨著線寬縮小.

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