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先進半導體製程量測技術提升晶片良率的幕後功臣

勇於求新求變的顧逸霞，近年來則將研發能量延伸應用至新興崛起的3D IC製程檢測。她強調，目前半導體的製程線寬，雖然從之前的的90奈米、65奈米、45奈米，走到了32 ...

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