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矽奈米線場效電晶體之研究

於90 奈米半導體元件製程技術上，為克服上述之難題，提出了. 以下三個方法用以克服，圖1-4 為三種方法示意圖。 （1）藉由將元件之通道部份（channel）與閘極線寬（gate ...

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