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奈米與半導體產業計量研究室 - NML 國家度量衡標準實驗室

半導體 先進製程關鍵尺寸量測技術暨標準技術 · 微奈米尺度關鍵尺寸校正原級標準之維持與建立 · 薄膜厚度、線距和線寬(原子力顯微鏡、X光反射儀、橢圓偏光儀) · 傳遞國家「線距 ...

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