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半導體塗佈機
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半導體光阻
半導體 光阻為形成高密度且多層結構電路時,製程上不可或缺的感光材料。 ... 半導體元件主要由微影製程形成,由半導體光阻塗佈在矽晶圓上,經光罩曝光、顯影(正型光阻為 ...
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