3.接著把矽晶圓放置於手套箱內旋轉塗料機的板上,以微量吸管抽取150µl 高分子溶液放在基板上(圖. 十)(圖十),靜置60 秒後,再以1000 rpm 旋轉塗佈60 秒,再放於加熱板 ...
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