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半導體塗佈機
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TWI659127B - 包含用於半導體製造部件之高純度金屬頂塗層 ...
在一個實施例中,冷噴塗佈機203藉由冷噴塗製程在製品上形成鋁塗層,在該製程中,自噴嘴以高速將鋁粉推至製品上,在下文中將更詳細地描述此製程。在此,製品表面可經均勻塗 ...
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