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半導體塗佈機
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國立中興大學-光電半導體製程中心
光阻塗佈:將光阻塗佈於晶片表面的方法很多,最廣為使用的方法為旋轉塗佈法,將定量光阻施佈於晶片中心,再藉由二階段不同轉速、時間使光阻均勻塗佈於晶面表面。
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