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半導體塗佈機
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逻辑挖掘——半导体设备系列(3)-涂胶/显影设备
涂胶显影设备是光刻工序中与光刻机配套使用的涂胶、烘烤及显影设备,包括涂胶机(又称涂布机、匀胶机,英文简称Spin Coater)、喷胶机(适用于不规则 ...
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