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半導體塗佈機
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黃光製程
SVS MSX主要是用來作半導體黃光製程的光阻塗佈。 ... 因此將黃光作本實驗室以進行黃光製程為研究重點,主要之配備為旋轉塗佈機、曝光機、加熱器。
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