用電子束轟擊目標靶材,使晶片上形成一層薄膜。 用極快的升溫,可將材料表面結構重組、缺陷的減少。 ; 表面輪廓儀(Alpha-Step). 旋轉塗佈機(Spin Coater) ; 1.表面粗糙度量測.
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