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半導體塗佈機
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塗佈機 Spin Coater ... 抖動造成定位不準,導致塗佈膜厚不均勻,產生不良,成本上升。 ... 痛點:, 半導體業講求設備坪效,但設備軸數多,空間的限制非常嚴苛。
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