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半導體塗佈機
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第一章緒論 - 國立交通大學
在現今競爭激烈的半導體IC 產業中,光學微影一直是半導體圖案製程的主流技術。 ... 二、光阻塗佈:將晶圓以直空吸附在光阻塗佈機(Spinner)(圖2.7)之轉盤上,加入光 ...
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