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半導體四大module
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針對半導體製程金屬層良率提昇研究
路,以使各元件能互通。一般我們將晶圓製造過程大略分為四大模組,即. 是薄膜、黃光、蝕刻、擴散,晶圓上每一層大多要經過這四大歩驟來完成,. 茲分別敘述如下:.
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