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半導體四大製程工商筆記本- 黃光蝕刻擴散薄膜 - Jjbjku4

依照不同用途，這層薄膜可以是二氧化矽、氮化矽、多晶矽等絕緣體，也可以是金屬。下面舉例幾個WAFER四大製程應該是五製程黃光區Photo 蝕刻區Etch 薄膜區Thinfin ...

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