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晶圓的處理－薄膜

Page 3. Page 4. Page 5. 處理製程. • 氧化. • 化學蒸氣沉積. • 濺鍍. • 擴散. • 離子植入. 蒸發 ... 4. -> Si （多晶矽薄膜）+. 4. （多晶矽薄膜）. 2H. 2. • SiH. 4.

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