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鰭型場效電晶體與半導體裝置之製造方法 - Google Patents

同樣地，準環繞結構的製作於導入至絕緣層上覆矽基板(SOI substrate)時，其形成遭遇了製程挑戰。 因此，於現今具有較佳控制情形之閘極結構之製造方法對於部分用途為足夠時， ...

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