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濕式化學品在半導體製程中之應用 - 材料世界網

本文將就化學材料中具關鍵代表性之高純度化學藥品在半導體製程應用及發展趨勢， ... 半導體IC. 之混合溶液來蝕刻多晶矽，其製程原理. 包含二道反應步驟：. Si+4HNO.

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