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半導體產業之—污染控制（一） - 每日頭條

化學 物質：在半導體工藝領域第三大主要的污染物是不需要的化學物質。 ... 它們在和靈敏度的化學反應相關的工藝危害最大，例如在光刻工藝中光刻膠的 ...

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