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半导体和其他电子产品制造业环境、 健康与安全指南

几乎所有的半导体及其他电子产品的生产过程都会产生有害的或有潜在危害的废弃物， ... 化学品替代，例如，用C-C4F8 或NF3 代替C2F6 作为改性化学气相沉积室的替代储柜.

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