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半導體前端製程
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半導體製程 步驟可以粗分成微影、蝕刻、沉積、摻雜與平坦化等實際在晶圓上製造出電路的製程步驟,以及穿插在這些步驟之間的清洗製程,統稱為前段製程。晶圓 ...
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