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半導體製造業空氣污染管制及排放標準 - 全國法規資料庫

該系統包括集氣設備、管線及連接裝置。 八、排放削減率：指空氣污染物經污染防制設備處理後之排放量削減百分比，依同步監測或檢測污染防制設備前端及後端廢氣濃度及排放量 ...

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