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半導體使用的靜電吸盤

半導體製造設備使用的靜電吸盤(Electrostatic chuck,E-CHUCK,ESC) ... 如薄膜、蝕刻、離子植入、wafer檢查等等，屬於半導體『前端製程』的領域，都有我們努力的存在。

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