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第二篇] 半导体制程工艺概览与氧化 - 电子创新元件网

这一过程我们称之为晶圆加工的后端工艺（BEOL，Back End Of the Line）。FEOL与BEOL加起来，统称为半导体制造的“前端工艺”。 图2：实际工艺顺序.png. 图2 ...

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