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使用先進電子束缺陷檢測設備以加速金氧化半導體製程開發

高靈敏度(Sensitivity) 對於半導體前段製程微弱的Voltage Contrast（VC）缺陷有極高的靈敏度，如接觸窗蝕刻後的檢測有高的靈敏度。在鎢插栓接觸窗站點可以進行PMOS 接觸窗 ...

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