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圖解半導體製造裝置

1972 年神戶大學工學部畢業後，即任職於日本電氣公司（NEC），負責超高. 速半導體元件、製程開發工作，並於相模原事業場從事半導體製造工廠前段製程. 到後段製程的 ...

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