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半導體用光阻劑之發展概況

正型光阻其未被光罩覆蓋的光阻區域，在UV照射後，可被顯影液輕易的帶離； ... 光阻劑為目前最新技術之光阻劑，全球主要供應超紫外線(EUV)光阻劑的廠商 ...

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