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高壓半導體元件淺溝槽隔離製程之差排改善及良率提昇研究

隨著半導體製程技術進步，元件越做越小，互補式金氧半高壓(High Voltage Complementary Metal-Oxide-Semiconductor, HV CMOS)元件製程技術要求也更加精確， ...

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