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熱探針法量測半導體摻雜濃度之探討

是透過霍爾電壓及半導體薄膜的厚度藉由公式算出其濃度；電容-電壓量測法是將導電探針與半導 ... 施敏(譯者：黃調元)（2006）半導體元件物理與製作技術。

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