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探討金屬雜質對閘極氧化層崩潰電壓的影響與改善

在半導體. 製程中，若晶圓遭受到金屬雜質的污染，則製作出來的元件的電氣特性 ... 金屬矽酸鹽類，造成局部的物理化學缺陷形成圖2-4 中A 或B 模式的特.

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