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半導體介面模擬及直通矽晶穿孔技術之應力分析

... 半導體元件，由於其與二氧化矽介面不穩定，臨限電壓變得不容易控制，足以影響元件的特性。在本論文中我們利用第一原理計算的方法模擬當高介電常數氧化層與二氧化矽介面 ...

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