負責儀器:24小時申請案件/四點探針(4-point Probe)/電漿輔助化學氣相沉積系統(PECVD) ... 高密度活性離子蝕刻系統(HDP-RIE)/矽深蝕刻系統(Si Deep-RIE)/博愛校區負責人.
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