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化工系半導體
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台科大智能化工廠半導體製程廢棄物再利用 - 工商時報
台科大打造校園智能化化工廠!由化工系師生自行建置系統,導入工業4.0智能概念,將半導體製程中用來沖洗晶圓體產生的異丙醇廢液再利用,透過反應蒸餾 ...
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