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化學氣相沉積
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多批光刻胶滞留!国内晶圆厂包机抢运54吨“救急” - 电子工程专辑
因此每一类光刻胶使用的原料在化学结构、性能上都比较特殊,要求使用不同 ... 扩散(disposition)、化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)、化学 ...
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